亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 復合材料技術(shù)

> 用于場區(qū)總劑量抗輻射加固的工藝

用于場區(qū)總劑量抗輻射加固的工藝

862   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:55:12
本發(fā)明涉及一種用于場區(qū)總劑量抗輻射加固的工藝,其包括如下步驟:a、提供襯底,并所述襯底表面形成第一二氧化硅層;b、在上述第一二氧化硅層上設(shè)置復合材料層;c、對上述復合材料層進行刻蝕,形成場區(qū)隔離結(jié)構(gòu);d、淀積多晶硅,通過刻蝕所述多晶硅在場區(qū)上形成多晶硅條;e、通過在襯底表面形成多晶硅條表面離子注入形成源漏重摻雜區(qū),所述源漏重摻雜區(qū)位于復合材料層的兩側(cè)。本發(fā)明采用非晶硅材料層和通過PECVD淀積第二二氧化硅層形成的復合材料層,具有抗輻射性能優(yōu)良和良好的電學隔離特性,能夠在大劑量的輻射條件下,抑制NMOS場管的開啟電壓漂移,提高集成電路的抗總劑量輻射能力;加工工藝簡單,具有很強的操作性。
聲明:
“用于場區(qū)總劑量抗輻射加固的工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
復合材料
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記