提供了一種用于在加工室中支撐基底和調(diào)節(jié)該基底表面溫度的設(shè)備及其制造方法。該設(shè)備包括基座,其具有用于支撐所述基底的表面,和用于加熱該基底的加熱器,并且該加熱器緊鄰該基座布置。該基座是由
復(fù)合材料制成的,其包含植入基質(zhì)中的多個導(dǎo)熱弓形元件,該多個導(dǎo)熱弓形元件的每個是同心排列的,并且在徑向上限定了預(yù)定的間隔,以使得所述復(fù)合材料在該基座的圓柱坐標(biāo)系中,在徑向(ρ),方位角
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和軸向(z)方向上提供各向異性熱導(dǎo)率。
聲明:
“具有圓柱各向異性熱導(dǎo)率的復(fù)合裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)