一種組件,其包含等離子體處理室的部件、熱源以及夾于所述部件和所述熱源之間的聚合物
復(fù)合材料,所述聚合物復(fù)合材料在高熱導(dǎo)率相和低熱導(dǎo)率相之間出現(xiàn)相變。所述溫度誘導(dǎo)相變聚合物可以用于在多步等離子體蝕刻工藝中保持所述部件溫度處于高或低溫。
聲明:
“具有適配熱導(dǎo)體的等離子體處理室部件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)