一種采用陶瓷金屬管殼軸向燒結(jié)的壓力敏感器件,它涉及一種壓力敏感器件。本發(fā)明要解決現(xiàn)有的壓力敏感器件軸向尺寸大和徑向尺寸大的問題。本發(fā)明器件包括引線、管座、陶瓷絕緣材料、多層
復合材料、硼硅玻璃基座、玻璃-金屬復合材料、金屬電極、
芯片和密封環(huán);硼硅玻璃基座的上表面與芯片的下表面通過靜電連接成密封結(jié)構(gòu);使用軸向低溫燒結(jié)的方法,將硼硅玻璃基座的下表面與陶瓷絕緣材料的上表面通過多層復合材料燒結(jié)成一體,多層復合材料為圓片結(jié)構(gòu),硼硅玻璃基座的下表面為正方形,多層復合材料的直徑大于等于硼硅玻璃基座下表面的正方形的對角線。本發(fā)明用在壓力敏感器件領(lǐng)域。
聲明:
“采用陶瓷金屬管殼軸向燒結(jié)的壓力敏感器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)