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基板載放臺

1007   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:50:20
一種基板載放臺,具備:一個面為基板載放面的板狀的陶瓷基體;在與基板載放面相反的面上借由接合材料與陶瓷基體接合的在多孔質(zhì)陶瓷的氣孔內(nèi)充填有金屬的氣孔率大于0%不足5%的板狀的復合材料基體;以及在復合材料基體的與接合陶瓷基體的面相反的面上借由接合材料與復合材料基體接合的金屬板。
聲明:
“基板載放臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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