一種基板載放臺,具備:一個面為基板載放面的板狀的陶瓷基體;在與基板載放面相反的面上借由接合材料與陶瓷基體接合的在多孔質(zhì)陶瓷的氣孔內(nèi)充填有金屬的氣孔率大于0%不足5%的板狀的
復合材料基體;以及在復合材料基體的與接合陶瓷基體的面相反的面上借由接合材料與復合材料基體接合的金屬板。
聲明:
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