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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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多功能復合材料氣相沉積爐

919 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 16:44:01

本實用新型涉及氣相沉積爐技術領域，尤其涉及多功能復合材料氣相沉積爐，包括爐體，所述爐體的內(nèi)側下半部設置有加熱室、上半部設置有沉積室，所述沉積室的一側內(nèi)壁設置有水平的固定柱，固定柱的端部鉸接有活動柱，活動柱的兩端對應位置處分別鉸接有圓弧形的夾板，兩邊的夾板之間夾持有旋轉盤，旋轉盤的底部通過吸盤吸附有待氣相沉積的晶圓，本實用新型解決了在對晶圓表面進行氣相沉積時，會出現(xiàn)沉積不均勻的狀況，影響產(chǎn)品質量的問題，本沉積爐的提出，工作人員能夠根據(jù)需要實時調(diào)整晶圓的受噴區(qū)域，保證整個晶圓能夠均勻的進行沉積作用，有效提高產(chǎn)品的質量。

聲明：

“多功能復合材料氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)