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復合材料及使用該材料的靜電卡盤的制造方法

902   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 16:43:03
本發(fā)明在陶瓷材料與金屬材料使用類似粘結薄膜的黏著材料時,提供能夠更好進行連接作業(yè)的復合材料的制造方法及靜電卡盤的制造方法和黏著材料。覆蓋膜25及基膜27,具有水溶性,黏著劑23,具有不溶于水(或者難溶于水)的性質。因此,陶瓷側部材31制造時,保持真空吸著臺29黏著膜21的覆蓋膜25,去除溶解于水,使第1黏著劑層23a的基膜27,去除溶于水,使第2主面A可以露出。
聲明:
“復合材料及使用該材料的靜電卡盤的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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