一種硅晶體生長(zhǎng)用碳碳
復(fù)合材料堝幫,在堝幫內(nèi)側(cè)配設(shè)有與其內(nèi)徑壁面相匹配的內(nèi)筒,所述內(nèi)筒靠近所述堝幫直壁部頂端設(shè)置,能夠在拉晶時(shí)與所述堝幫內(nèi)徑壁面緊密貼合,并可在拉晶結(jié)束后從所述堝幫頂部取出以使石英坩堝從所述堝幫中無(wú)卡頓取出。本實(shí)用新型在原堝幫內(nèi)側(cè)加設(shè)可拆卸的內(nèi)筒,進(jìn)而在取出石英坩堝的過(guò)程中,上部不受阻力,可整體方便取出,可有效減少操作時(shí)間和后期處理時(shí)間;同時(shí)在內(nèi)筒上設(shè)置排氣孔,使得在石英坩堝和堝幫之間產(chǎn)生的氣體得到及時(shí)排除,從而避免了石英坩堝鼓包的問(wèn)題,維持正常拉晶,避免安全風(fēng)險(xiǎn)和成本損失;該內(nèi)筒可定期更換,可有效提高堝幫的壽命,降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“硅晶體生長(zhǎng)用碳碳復(fù)合材料堝幫” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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