本發(fā)明公開了一種碳
復(fù)合材料生產(chǎn)用氣相沉積系統(tǒng)及方法,包括兩端開口的腔體,其中一個開口為進(jìn)氣口,另外一個開口為出氣口,所述腔體的內(nèi)徑從進(jìn)氣口至出氣口的方向逐漸增大,所述腔體包括從內(nèi)至外依次設(shè)置的石墨內(nèi)層、石英層、石墨氈層和外防護(hù)層,所述石英層和石墨氈層之間設(shè)有加熱層。該系統(tǒng)通過對腔體結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),具體為將傳統(tǒng)的直筒式的腔體改進(jìn)為從進(jìn)氣口至出氣口的方向逐漸增大內(nèi)徑逐漸增大的腔體,利用伯努利原理減小氣體流速,增大氣體氣壓從而彌補(bǔ)“消耗”現(xiàn)象,使制備生成的外延層厚度更加均勻。
聲明:
“碳復(fù)合材料生產(chǎn)用氣相沉積系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)