本發(fā)明提供了一種
復(fù)合材料的微機(jī)電裝置及其制作方法。該微機(jī)電裝置包括一振動(dòng)單元、一第一材料以及一第二材料。振動(dòng)單元用以沿一第一軸向來(lái)回振動(dòng),其中振動(dòng)單元包括一剛性元件。剛性元件包括一第一表面、一第二表面以及連接第一表面與第二表面的一第三表面,其中第一表面面向第一軸向的一第一方向,第二表面面向第一軸向相反于第一方向的一第二方向。第一材料設(shè)置于第一表面與第二表面上。第二材料為導(dǎo)電材料且設(shè)置于第一材料上并延伸至剛性元件,使第二材料電性連接到剛性元件。
聲明:
“復(fù)合材料的微機(jī)電裝置與其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)