本發(fā)明提供了制造硅?SiC
復(fù)合材料粉末的方法,其中將氣體料流I和同軸氣體料流II送入到熱壁反應(yīng)器中,氣體料流I含有SiH
4、Si
2H
6和/或Si
3H
8和至少一種選自乙烯和/或乙炔的烴,同軸氣體料流II含有氫氣,其中氣體料流II相對于氣體料流I形成夾套料流,并使至少氣體料流I在900℃至1100℃的溫度下反應(yīng),并隨后在熱壁反應(yīng)器的出口處將反應(yīng)混合物冷卻或使其冷卻,并將粉狀反應(yīng)產(chǎn)物與氣態(tài)物質(zhì)分離。
聲明:
“在氣相反應(yīng)器中合成硅-碳復(fù)合材料” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)