一種用于陶瓷基
復(fù)合材料的超快激光拋光加工方法,先將SiC陶瓷基復(fù)合材料加工樣片固定在激光加工設(shè)備上,激光加工設(shè)備包括光路系統(tǒng)和加工平臺,光路系統(tǒng)包括飛秒激光器,飛秒激光器的激光經(jīng)過反射鏡、擴(kuò)束鏡、光闌、振鏡及場鏡組件后作用于加工平臺上;加工平臺包括相對于工作臺在x、y和z軸方向的三維運動機(jī)構(gòu)以及夾具,在三維運動機(jī)構(gòu)中安裝角位移臺,通過調(diào)節(jié)角位移臺能夠改變y軸方向與工作臺法線夾角大小,以獲得大的激光入射角;通過計算機(jī)分別控制飛秒激光器的激光參數(shù)、振鏡的振鏡圖形掃描及三維運動機(jī)構(gòu)的移動對加工樣片進(jìn)行拋光;本發(fā)明利用激光與加工平臺協(xié)同作業(yè),根據(jù)需要調(diào)節(jié)橫向縱向的光斑重疊率,保證加工的均勻性,加工效率高。
聲明:
“用于陶瓷基復(fù)合材料的超快激光拋光加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)