本發(fā)明提供了一種一維
碳納米管和三維
石墨烯復(fù)合材料圖形化生長方法,隸屬微納制造領(lǐng)域。該方法先對生長基底進(jìn)行圖形化處理,再對圖形化后的生長基底進(jìn)行制絨處理,然后采用磁控濺射方法在生長基底上沉積催化劑,再復(fù)合生長一維碳納米管和三維石墨烯,最后將一維碳納米管和三維石墨烯復(fù)合材料從生長基底上剝離。該方法解決了傳統(tǒng)工藝中程序復(fù)雜,且不能直接從生長基底剝離的問題,此方法可以直接把圖形化后的石墨烯復(fù)合材料應(yīng)用于柔性器件等領(lǐng)域。
聲明:
“一維碳納米管和三維石墨烯復(fù)合材料圖形化生長方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)