3SiC2涂層的制備方法,復(fù)合材料"> 3SiC2涂層的制備方法,本發(fā)明公開(kāi)一種燃料電池復(fù)合材料雙極板上的Ti3SiC2涂層的制備方法,本發(fā)明采用反應(yīng)化學(xué)氣相沉積(R?CVD)工藝,利用MTS+H2+N2前驅(qū)體體系在復(fù)合材料雙極板上通過(guò)CVD先制備一層SiC涂層,然后采用TiCl4+H2+N2前驅(qū)體體系,通過(guò)反應(yīng)消耗底層SiC涂層從而生長(zhǎng)出純Ti3SiC2涂層。該法控制了前驅(qū)體的單一性,可以有效獲得純Ti3SiC2涂層,大大提高復(fù)合材料雙極板的導(dǎo)電性能。">

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燃料電池復(fù)合材料雙極板上的Ti3SiC2涂層的制備方法

813   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:04:02
本發(fā)明公開(kāi)一種燃料電池復(fù)合材料雙極板上的Ti3SiC2涂層的制備方法,本發(fā)明采用反應(yīng)化學(xué)氣相沉積(R?CVD)工藝,利用MTS+H2+N2前驅(qū)體體系在復(fù)合材料雙極板上通過(guò)CVD先制備一層SiC涂層,然后采用TiCl4+H2+N2前驅(qū)體體系,通過(guò)反應(yīng)消耗底層SiC涂層從而生長(zhǎng)出純Ti3SiC2涂層。該法控制了前驅(qū)體的單一性,可以有效獲得純Ti3SiC2涂層,大大提高復(fù)合材料雙極板的導(dǎo)電性能。
聲明:
“燃料電池復(fù)合材料雙極板上的Ti3SiC2涂層的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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