本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制備所應(yīng)用的隔熱保溫材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種碳基Si-C-O氣凝膠隔熱復(fù)合材料及其制備方法，制備該材料首先將硅源和碳源混合，經(jīng)反應(yīng)后制備出具有納米多孔的三維網(wǎng)絡(luò)骨架結(jié)構(gòu)的溶膠，然后以短切碳纖維為原料，通過(guò)纖維漿料抽濾、模壓成型的方法經(jīng)高溫?zé)Y(jié)制備多孔纖維預(yù)制體，接著將所述溶膠與碳多孔纖維預(yù)制體復(fù)合，形成碳纖維與Si-C-O氣凝膠的混合體，然后通過(guò)超臨界流體干燥得到具有納米多孔結(jié)構(gòu)的Si-C-O氣凝膠先驅(qū)體復(fù)合材料，再對(duì)Si-C-O氣凝膠先驅(qū)體復(fù)合材料進(jìn)行高溫惰性氣氛裂解，最終形成碳基Si-C-O氣凝膠隔熱復(fù)合材料，該材料將Si-C-O氣凝膠與碳纖維結(jié)合在一起，制備出了一種性能優(yōu)越的隔熱材料，適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中。