本發(fā)明提供了一種新型碳-
碳納米管復(fù)合材料高深寬比微結(jié)構(gòu)的制作方法,包括微型硅模具的制作、新型碳-碳納米管復(fù)合材料及高深寬比微結(jié)構(gòu)的制作,所述微型硅模具由紫外光刻和硅的深刻蝕技術(shù)制得;所述新型碳-碳納米管復(fù)合材料由多壁碳納米管和SU-8光刻膠混合所得的光刻膠-碳納米管復(fù)合材料經(jīng)碳化得到;所述高深寬比微結(jié)構(gòu)可通過背底抽真空的方法在所述微型硅模具中制得。本發(fā)明融合了半導(dǎo)體領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù),工藝簡(jiǎn)潔、相關(guān)技術(shù)成熟、可應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn),所得到的碳-碳納米管復(fù)合材料的微結(jié)構(gòu)有著較好的機(jī)械性能和較高的化學(xué)穩(wěn)定性,可以得到寬度范圍在5~100μm,深度范圍在200~500μm的微結(jié)構(gòu),其最高深寬比可達(dá)100。
聲明:
“新型碳-碳納米管復(fù)合材料高深寬比微結(jié)構(gòu)的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)