本實(shí)用新型涉及一種
多晶硅氫化爐用碳/碳
復(fù)合材料加熱帶結(jié)構(gòu),該加熱帶 結(jié)構(gòu)包括石墨頭,石墨墊塊、碳/碳復(fù)合材料加熱帶和緊固螺栓,所述碳/碳復(fù)合 材料加熱帶整體彎制成拱門形,碳/碳復(fù)合材料加熱帶的兩個端頭被石墨頭和石 墨墊塊夾持,并通過緊固螺栓固定,所述碳/碳復(fù)合材料加熱帶的截面形狀為折 角形或弧形。本實(shí)用新型多晶硅氫化爐用碳/碳復(fù)合材料加熱帶結(jié)構(gòu)的有益效果 是,折角形或弧形的橫截面型式增加了加熱帶的抗彎模量,有效防止了由于加 熱帶彎曲、倒伏產(chǎn)生的電極短路現(xiàn)象,同時能夠起到對氣體的引流作用,使氣 體沿加熱帶向上運(yùn)動,延長了混合氣體在氫化爐內(nèi)的反應(yīng)時間,提高了SiHCl3 的產(chǎn)率,保證設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。
聲明:
“多晶硅氫化爐用碳/碳復(fù)合材料加熱帶結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)