本發(fā)明屬于半導(dǎo)體氧化物氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于ZnO/SnO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)
復(fù)合材料的高靈敏度和低檢測(cè)下限的乙醇?xì)怏w傳感器及其制備方法。本發(fā)明使用兩步水熱法制得ZnO/SnO2復(fù)合材料敏感材料,利用SnO2和ZnO之間所形成的異質(zhì)結(jié)構(gòu)以及兩者對(duì)乙醇的協(xié)同催化作用,進(jìn)而有效地提高了傳感器對(duì)于乙醇的氣敏特性。此外,在低濃度范圍內(nèi),復(fù)合材料對(duì)乙醇?xì)怏w有較好的響應(yīng),甚至可以對(duì)ppb量級(jí)的乙醇?xì)怏w進(jìn)行檢測(cè)。器件工藝簡(jiǎn)單,體積小,適于大批量生產(chǎn),因而在檢測(cè)乙醇含量方面有廣闊的應(yīng)用前景。
聲明:
“基于ZnO/SnO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)復(fù)合材料的乙醇?xì)怏w傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)