本發(fā)明提供了一種微圖案化碳?
碳納米管復(fù)合材料電極微加工工藝,包括以下步驟:(1)對(duì)碳納米管進(jìn)行表面改性制得光刻膠?碳納米管復(fù)合材料;(2)對(duì)光刻膠?碳納米管復(fù)合材料進(jìn)行紫外光刻等半導(dǎo)體微加工工藝,制得微圖案化光刻膠?碳納米管復(fù)合材料微結(jié)構(gòu);(3)最后將微圖案化光刻膠?碳納米管復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)經(jīng)過熱解碳化過程制得微圖案化碳?碳納米管復(fù)合材料電極。該工藝簡單易操作,成本低,可應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn),具有較好的機(jī)械性能、較高的化學(xué)穩(wěn)定性、較優(yōu)異的電導(dǎo)性和較好的
電化學(xué)性能。本發(fā)明所制得的微圖案化碳?碳納米管復(fù)合材料電極可作為電極應(yīng)用于微型超級(jí)電容器。
聲明:
“微圖案化碳-碳納米管復(fù)合材料電極微加工工藝及應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)