本發(fā)明提供了一種防靜電耐火
復合材料及其制備方法和半導體設備,涉及復合材料的技術(shù)領域。本發(fā)明提供的防靜電耐火復合材料,采用環(huán)氧樹脂、固化劑、導電劑和
阻燃劑等原料制得,其中,阻燃劑包括氫氧化鎂、玻璃粉、三聚氰胺氰尿酸鹽和磷酸鋅,通過氧化鎂、玻璃粉、三聚氰胺氰尿酸鹽和磷酸鋅以及導電劑的協(xié)同配合作用,使得該防靜電耐火復合材料具有良好的防火性能和防靜電性能。本發(fā)明提供的防靜電耐火復合材料的制備方法工藝簡單,操作便利,適合于工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)。本發(fā)明還提供了一種半導體設備,采用上述防靜電耐火復合材料制得。
聲明:
“防靜電耐火復合材料及其制備方法和半導體設備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)