本發(fā)明提供了一種壓電
復(fù)合材料表面電極的制備方法,該制備方法包括如下步驟:步驟一、對壓電復(fù)合材料表面進行研磨;步驟二、對研磨后的壓電復(fù)合材料表面進行清洗,然后烘干;步驟三、在常溫狀態(tài)下,采用直流磁控濺射工藝在壓電復(fù)合材料表面先制備出厚度較薄的第一層NiCr合金薄膜材料;步驟四、采用直流磁控濺射工藝在第一層薄膜材料上直接制備第二層Ag薄膜材料。本發(fā)明還提供了一種根據(jù)以上制備方法制備出來的壓電復(fù)合材料表面電極。經(jīng)過顯微分析及電學(xué)、力學(xué)測試表明,壓電復(fù)合材料表面電極表面光滑、均勻,導(dǎo)電性能好、電阻率較低,附著力能夠滿足應(yīng)用需求。
聲明:
“壓電復(fù)合材料表面電極及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)