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冷卻板、其制法以及半導體制造裝置用部件

738 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 15:17:03

半導體制造裝置用部件(10)具有氧化鋁制靜電卡盤(20)、冷卻板(30)、以及冷卻板-卡盤接合層(40)。冷卻板(30)具有第1～第3基板(31～33)、形成于第1以及第2基板(31、32)之間的第1金屬接合層(34)、形成于第2以及第3基板(32、33)之間的第2金屬接合層(35)、以及制冷劑通路(36)。第1～第3基板(31～33)由致密質(zhì)復合材料形成，所述致密質(zhì)復合材料中碳化硅的含量最多，并且含有硅化鈦、鈦碳化硅以及碳化鈦。金屬接合層(34、35)通過在第1以及第2基板(31、32)之間，以及在第2以及第3基板(32、33)之間夾持Al-Si-Mg系或Al-Mg系的金屬接合材料并將各基板(31～33)進行熱壓接合而形成。

聲明：

“冷卻板、其制法以及半導體制造裝置用部件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)