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致密復(fù)合材料、其制造方法、接合體及半導(dǎo)體制造裝置用部件

650   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:16:02
提供一種復(fù)合材料,所述復(fù)合材料與氮化鋁之間的線性熱膨脹系數(shù)差很小,并且具有足夠高的導(dǎo)熱系數(shù)、致密性和強(qiáng)度。本發(fā)明的致密復(fù)合材料包含含量最多的前三位的碳化硅、鈦碳化硅和碳化鈦,這三種物質(zhì)按照含量從多到少的順序排列,該復(fù)合材料是包含51-68質(zhì)量%的碳化硅、不含有硅化鈦以及具有1%以下的開口孔隙率的復(fù)合材料。例如,該致密復(fù)合材料的特性包括:40-570℃的平均線性熱膨脹系數(shù)為5.4-6.0ppm/K,導(dǎo)熱系數(shù)為100W/m·K以上,以及四點彎曲強(qiáng)度為300MPa以上。
聲明:
“致密復(fù)合材料、其制造方法、接合體及半導(dǎo)體制造裝置用部件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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