本發(fā)明是一種制備超細(xì)碳氨硅
復(fù)合材料的氣相 合成新工藝, 工藝中采取直流等離子弧為熱源的密閉反應(yīng)器中 完成, 所采用的原料為三氯甲基
硅烷和液氨, 兩者按1.4-1.8∶1 的比例(液態(tài)重量比)注入反應(yīng)器, 并借助自由沉降過(guò)程中淬冷 直接復(fù)合成固態(tài)微粉, 反應(yīng)借助調(diào)控等離子體發(fā)生器輸出功率和N2、H2比例穩(wěn)定, 保持反應(yīng)溫度在1100℃-1800℃之間, 經(jīng)淬冷細(xì)化的微粉經(jīng)加熱后處理去除氯化物雜質(zhì)生成超細(xì)Si-N-C納米級(jí)復(fù)合材料。
聲明:
“超細(xì)碳-氮-硅復(fù)合材料氣相合成新工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)