本發(fā)明公開(kāi)了一種提升光電探測(cè)器響應(yīng)率的亞波長(zhǎng)等離激元微腔耦合結(jié)構(gòu),通過(guò)等離激元微腔對(duì)入射光的傳播方向和光場(chǎng)分布進(jìn)行調(diào)制,使入射光被限制在微腔中傳播,減小了光的逃逸,提高了光子的利用率。入射光場(chǎng)被集聚在微腔中使得強(qiáng)度得到極大的增強(qiáng),通過(guò)在微腔中夾持光電轉(zhuǎn)換材料能夠形成高響應(yīng)率的光電探測(cè)器。該耦合結(jié)構(gòu)由上層周期性金屬條塊形成的金屬光柵層、光電轉(zhuǎn)換激活層和下層金屬反射層組成。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:利用上層金屬光柵與下層金屬反射層之間等離激元共振所形成的電磁波近場(chǎng)耦合微腔的模式選擇效應(yīng),使得進(jìn)入到微腔的光子沿橫向傳播并形成駐波,既集聚了光場(chǎng)能量又增加了等效光吸收的長(zhǎng)度,使得探測(cè)器響應(yīng)率得到極大地提升。
聲明:
“提升光電探測(cè)器光響應(yīng)的亞波長(zhǎng)等離激元微腔光耦合結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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