一種光纖與光學(xué)波導(dǎo)耦合的模斑變換器及其制作方法，其中，模斑變換器包括：沿從光纖到光學(xué)波導(dǎo)方向分為第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域；第一區(qū)域從下到上包括襯底層、鍵合層、平板光學(xué)功能層，在鍵合層上形成掩埋過渡光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；第二區(qū)域從下到上包括襯底層、鍵合層、完整光學(xué)功能層，在鍵合層上形成掩埋過渡光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，完整光學(xué)功能層包含第一區(qū)域中的平板光學(xué)功能層，在光學(xué)功能層上形成單層倒錐過渡光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，沿從光纖到光學(xué)波導(dǎo)方向，單層倒錐過渡光波導(dǎo)的寬度以預(yù)設(shè)方式逐漸增大，結(jié)構(gòu)用于將光從鍵合層的掩埋過渡光波導(dǎo)耦合至第三區(qū)域的光學(xué)功能層的光學(xué)波導(dǎo)中；第三區(qū)域從下到上包括襯底層、鍵合層、完整光學(xué)功能層，在光學(xué)功能層上形成光學(xué)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。由此，實(shí)現(xiàn)了低耦合損耗，大對(duì)準(zhǔn)容差，低工藝復(fù)雜度，低成本和高普適性的模斑變換器方案。