本發(fā)明涉及一種基于阿基米德螺線(xiàn)微通道無(wú)閥壓電泵的MEMS流體陀螺,包括上蓋和下蓋以及微腔,微腔內(nèi)的容納有第一壓電振子,還包括利用MEMS工藝成型在上蓋或下蓋上的第一平面阿基米德螺線(xiàn)微通道和第一連通微通道,該第一平面阿基米德螺線(xiàn)微通道的兩端分別連接有微腔和流體進(jìn)口,該流體進(jìn)口的另一端連接有第一微流管,第一連通微通道的兩端分別連接微腔和流體出口,流體出口的另一端連接有第二微流管,該流體進(jìn)口與流體出口均設(shè)于上蓋或下蓋上,第一微流管與第二微流管遠(yuǎn)離流體進(jìn)口的一端均設(shè)置有壓電單元,壓電單元通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)與用于測(cè)量壓電單元的電荷變化量的傳感器單元連接。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低廉,尺寸較小,適用范圍廣,易于實(shí)現(xiàn)和大規(guī)模量產(chǎn)。
聲明:
“基于阿基米德螺線(xiàn)微通道無(wú)閥壓電泵的MEMS流體陀螺” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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