本發(fā)明提供一種紅外探測器陣列及其制作方法,該紅外探測器陣列的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)在于在非致冷紅外探測器像素的懸橋結(jié)構(gòu)上制作兩組熱敏單元B1和B2,在襯底上制作另外兩組熱敏單元S1和S2,再通過惠斯通電橋形式將這四組熱敏單元連接起來,差分輸出電信號,抑制了電路噪聲,可顯著地提高器件的信噪比。本發(fā)明制作方法的特點(diǎn)在于:在釋放像素結(jié)構(gòu)時,先在襯底中刻蝕出腐蝕槽,然后采用各向異性腐蝕劑腐蝕硅釋放像素結(jié)構(gòu),提高了腐蝕釋放效率,且腐蝕形狀及深度可控,可避免像素和襯底之間發(fā)生粘連,還可以以未腐蝕盡的硅作為像素的錨,簡化了錨的制作工藝。
聲明:
“紅外探測器陣列及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)