本申請公開了一種薄膜傳感器及其制備方法,用以提升薄膜傳感器的性能。本申請實施例提供的一種薄膜傳感器,所述薄膜傳感器包括:第一基板、第二基板、以及將所述第一基板和所述第二基板貼合的導(dǎo)電部件;所述第一基板包括:薄膜晶體管,所述第二基板包括:傳感器件,所述薄膜晶體管與所述傳感器件通過所述導(dǎo)電部件電連接。
聲明:
“薄膜傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)