本發(fā)明提供一種底電極紅外探測器結(jié)構(gòu),包括:設(shè)于介質(zhì)結(jié)構(gòu)內(nèi)的底電極結(jié)構(gòu),所述底電極結(jié)構(gòu)包括金屬互連層和位于所述金屬互連層上的金屬通孔;設(shè)于所述介質(zhì)結(jié)構(gòu)表面的反射層;設(shè)于所述反射層上微橋結(jié)構(gòu),所述微橋結(jié)構(gòu)包括微橋橋面及支撐結(jié)構(gòu),所述微橋橋面包括自下而上依次設(shè)置的第一紅外敏感層和紅外保護層,所述支撐結(jié)構(gòu)包括自內(nèi)向外依次設(shè)置的電極柱、第一功能層和第二紅外敏感層。通過第二紅外敏感層與反射層形成歐姆接觸,有效提升器件的性能。
聲明:
“底電極紅外探測器結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)