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石墨烯制備裝置及應(yīng)用該裝置圖案化生長(zhǎng)石墨烯的方法

711   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:09:02
本發(fā)明涉及一種石墨烯制備裝置及應(yīng)用該裝置圖案化生長(zhǎng)石墨烯的方法,該裝置包括:下工作臺(tái)支架、加熱器A、下工作臺(tái)、夾具、上工作臺(tái)、加熱器B、上工作臺(tái)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、加熱器C、進(jìn)氣法蘭、排氣法蘭(10)、腔體外層、腔體保溫層、腔體內(nèi)層、進(jìn)樣門;利用該裝置的石墨烯生長(zhǎng)方法為:裝置下方載片負(fù)載液體金屬催化劑,裝置上方工作臺(tái)裝載生長(zhǎng)基底和圖案化模板,催化劑載片、基底和生長(zhǎng)環(huán)境獨(dú)立控制加熱溫度,利用低壓或常壓化學(xué)氣相沉積過程在基底上生長(zhǎng)完整連續(xù)或圖案化的石墨烯層;本裝置和方法可以在多種非金屬基底上低溫生長(zhǎng)圖案化石墨烯薄膜,避免了轉(zhuǎn)移、光刻、微加工等復(fù)雜器件制備工序,有利于簡(jiǎn)單石墨烯功能材料和器件的批量生產(chǎn)。
聲明:
“石墨烯制備裝置及應(yīng)用該裝置圖案化生長(zhǎng)石墨烯的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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