一種鐵合金氮化物納米巨磁阻抗薄膜材料及制備方法,屬于
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。所述材料為NIFE合金薄膜層和FEXN(X=AL、TI或TA)納米晶軟磁薄膜層彼此相間形成的多層薄膜體系。其中FEXN(X=AL、TI或TA)納米晶軟磁薄膜層的厚度小于其出現(xiàn)垂直各向異性的臨界值;NIFE合金薄膜層一方面阻止FEXN薄膜的柱狀生長,避免其垂直各向異性的形成,另一方面由于NIFE層的交換耦合作用,使整個多層薄膜體系具有取向良好的面內(nèi)各向異性。由于整個多層薄膜體系的飽和磁化強度更大,從而可以獲得比同樣厚度的FEXN薄膜材料大得多的巨磁阻抗效應(yīng)。本發(fā)明所述的鐵合金氮化物納米巨磁阻抗薄膜材料為制備具有巨磁阻抗效應(yīng)的微傳感器提供了一種性能更為優(yōu)異的材料選擇。
聲明:
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我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)