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WO3電致變色薄膜的制備方法

909   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:08:02
WO3薄膜具有可見(jiàn)光透射率調(diào)節(jié)范圍大、著色效率高、響應(yīng)時(shí)間短、循環(huán)穩(wěn)定性好和環(huán)境友好等優(yōu)點(diǎn)?;赪O3薄膜的電致變色器件可廣泛應(yīng)用于建筑、汽車(chē)等作為節(jié)能靈巧窗。本發(fā)明涉及WO3光電功能材料,提供了一種薄膜質(zhì)量好、厚度均勻、變色響應(yīng)時(shí)間短的WO3電致變色薄膜的制備方法。本發(fā)明以WO3為靶材,利用射頻磁控濺射方法在透明導(dǎo)電ITO玻璃襯底上制備電致變色WO3薄膜。本發(fā)明制備工藝簡(jiǎn)單,容易控制,重復(fù)性好,沉積速率穩(wěn)定,便于大規(guī)模生產(chǎn)制備。
聲明:
“WO3電致變色薄膜的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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