本發(fā)明屬于
納米材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種懸浮多電極范德華異質(zhì)結(jié)電子器件及其制備方法。本發(fā)明將二維范德華納米
功能材料與傳統(tǒng)納米機(jī)電系統(tǒng)進(jìn)行耦合,采用“自下而上”垂直堆疊將范德華異質(zhì)結(jié)懸浮于帶有底柵的陣列孔洞表面,并通過微納加工與等離子刻蝕等技術(shù)手段,可獲得多電極、陣列化懸浮范德華微納器件,具有重復(fù)性高,普適性強(qiáng)等特性,有利于進(jìn)一步集成至模塊化電路,在一定程度上縮小了器件的尺寸,為基于范德華材料及其異質(zhì)結(jié)的微納傳感器件制備提供了指導(dǎo)。
聲明:
“懸浮多電極范德華異質(zhì)結(jié)電子器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)