一種CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法,屬于
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。包括以下步驟:1)通過高分子輔助沉積法配制含鈣銅鈦的前驅(qū)液;2)將斜切的LaAlO3基片在800~1000℃下熱處理1~6小時,得到表面為臺階結(jié)構(gòu)的基片;3)采用旋涂法將前驅(qū)液均勻涂覆于步驟2)處理后的基片表面,烘干,得到含鈣銅鈦的薄膜樣品;4)對上步得到的含鈣銅鈦的薄膜樣品熱處理,隨爐冷卻至室溫,得到CaCu3Ti4O12薄膜。本發(fā)明通過不同斜切角度的斜切基片調(diào)控CCTO薄膜的應(yīng)力,使得制得的薄膜的介電損耗明顯降低;且方法簡單,成本低廉,具有良好的工藝可控性和重復(fù)性,有利于大規(guī)模批量化生產(chǎn)。
聲明:
“CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)