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用于氣體感測的系統(tǒng)、裝置和方法

763   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:04:02
一種單片三維(3D)集成電路(IC)裝置包括感測層、存儲器層和處理層。所述感測層包括多個碳納米管場效應(yīng)晶體管(CNFET),所述碳納米管場效應(yīng)晶體管用至少50種功能材料功能化以響應(yīng)于暴露于氣體而生成數(shù)據(jù)。所述存儲器層存儲由所述多個CNFET生成的數(shù)據(jù),并且所述處理層基于由所述多個CNFET生成的數(shù)據(jù)識別所述氣體的一種或多種組分。
聲明:
“用于氣體感測的系統(tǒng)、裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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