本發(fā)明涉及一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜材料的制備方法,屬于信息
功能材料與器件領(lǐng)域。本發(fā)明方法包括先驅(qū)體溶液的配置,即將醋酸鉛,異丙醇鋯,正丙醇鈦先驅(qū)材料加人乙二醇甲醚等溶劑中,采用聚乙烯醇和乙酰丙酮控制粘度和穩(wěn)定度,在干燥氣氛下配制成均勻穩(wěn)定透明的先驅(qū)體溶液。然后在硅基襯底上通過甩膠、干燥、退火等過程制備所需厚度的鐵電厚膜材料。本發(fā)明通過引入緩沖層減緩了由于鐵電厚膜材料和硅基襯底的熱膨脹系數(shù)差異引起的熱應力,實現(xiàn)了硅基襯底上鐵電厚膜材料的制備。本發(fā)明的硅基鐵電厚膜材料可以用于硅基的鐵電、壓電、熱釋電等微型集成器件的研制。
聲明:
“硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)