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磷摻雜多晶硅薄膜及其制備方法

666   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:03:02
本發(fā)明提供了一種磷摻雜多晶硅薄膜及其制備方法,屬于功能材料領(lǐng)域。通過(guò)將多晶硅粉末與磷粉末按比例混合均勻,壓片、真空燒結(jié)制得硅靶材,將硅靶材和石英玻璃基片放入真空系統(tǒng)中,采用激光濺射沉積的方法制備出磷摻雜多晶硅薄膜。本發(fā)明獲得的磷摻雜多晶硅薄膜,其橫向應(yīng)變系數(shù)絕對(duì)值的最大值可達(dá)24.3;橫向應(yīng)變系數(shù)的非線性在1-2.5%之間,比現(xiàn)有的多晶硅薄膜降低了0.5%;采用本發(fā)明方法可以使多晶硅薄膜摻雜均勻、平整度高、致密性好且控制晶粒尺寸范圍為0.1μm~0.5μm;本發(fā)明制備方法簡(jiǎn)單、成本低、可控性強(qiáng),為多晶硅薄膜領(lǐng)域拓展了新思路。
聲明:
“磷摻雜多晶硅薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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