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鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜及其制備方法

1014   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:03:01
本發(fā)明涉及涉及一種鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜及其制備方法,屬于電子功能材料和器件領(lǐng)域。本發(fā)明提供的制備方法包括如下步驟:步驟1,將硝酸鉍、乙酸鈉、乙酸鍶加入溶劑,攪拌得溶液A;步驟2,將乙酰丙酮、鈦酸四丁酯、九水合硝酸鐵、四水合乙酸錳溶于溶劑,攪拌、加熱,得溶液B;步驟3,將溶液A與溶液B混合,預(yù)處理后得混合液C;以及步驟4,用旋涂法將混合液C涂覆在處理好的基片上,高溫處理后,即得(0.72?x)(Bi0.5Na0.5)TiO3?0.28SrTiO3?xBi(Fe0.95Mn0.03Ti0.02)O3三元體系鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜。所以,本發(fā)明制備得到的壓電薄膜表面平整光滑、具有典型的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)、較高的極化強(qiáng)度以及優(yōu)異的壓電性能,同時(shí)逆壓電系數(shù)最高可達(dá)179.7皮米/伏,對于開發(fā)高性能無鉛壓電薄膜具有非常重要的意義。
聲明:
“鈦酸鉍鈉基無鉛壓電薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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