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基于MoN的SNS約瑟夫森結(jié)及其制備方法

1020   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:31
本發(fā)明提供一種基于MoN的SNS約瑟夫森結(jié)及其制備方法,該基于MoN的SNS約瑟夫森結(jié)的制備方法包括以下步驟,提供一襯底,于襯底上形成層疊的NbN底層膜、MoN勢壘層及NbN頂層膜的功能材料層,其中,采用直流反應(yīng)磁控濺射法形成MoN勢壘層,刻蝕功能材料層以形成底電極、MoN結(jié)勢壘層及頂電極,并形成覆蓋底電極、MoN結(jié)勢壘層及頂電極顯露表面的隔離層,于隔離層上形成第一接觸孔及第二接觸孔,并形成覆蓋隔離層及填充第一接觸孔與第二接觸孔的配線層,刻蝕配線層以形成第一配線部及第二配線部。本發(fā)明通過采用直流反應(yīng)磁控濺射的方法形成MoN勢壘層,得到電阻率穩(wěn)定的MoN勢壘層,提升了約瑟夫森結(jié)的質(zhì)量。
聲明:
“基于MoN的SNS約瑟夫森結(jié)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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