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使用雙釋放層的功能納米顆粒的納米壓印光刻形成

1110   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:31
功能納米顆??墒褂弥辽僖粋€納米壓印光刻步驟形成。在一個實施例中,可使用壓印光刻工藝將犧牲材料圖案化在多層基底上,該多層基底包括在可移除層之間的一個或多個功能層。該功能層中的至少一個層包括功能材料,諸如制藥復(fù)合物或成像劑。該圖案可被進(jìn)一步蝕刻到該多層基底中。該功能材料的至少一部分隨后可被移除以提供露出柱體的冠表面。移除該可移除層將該柱體從該圖案化表面釋放以形成功能納米顆粒,諸如藥物或成像劑載體。
聲明:
“使用雙釋放層的功能納米顆粒的納米壓印光刻形成” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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