本發(fā)明提供一種有機EL裝置的制造裝置,包括:液滴噴出裝置,使導(dǎo)入了發(fā)光
功能材料的功能液滴噴頭相對于基板作相對掃描,選擇性噴出所述發(fā)光功能材料后,在所述基板上的多個像素區(qū)域中分別形成有機EL功能層;和處理室裝置,在惰性氣體環(huán)境下收容所述液滴噴出裝置。
聲明:
“有機EL裝置及其制造裝置、電子機器及液滴噴出裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)