本發(fā)明提供一種基于原子力顯微鏡的納米尺度熱導?電疇原位表征裝置包括:納米熱學?機電信號原子力顯微鏡原位激勵平臺,對被測納米
功能材料樣品原位激發(fā)微區(qū)熱學?機電信號;納米熱學?機電信號原位檢測平臺,對所述微區(qū)熱學?機電信號進行原位實時檢測及數(shù)據(jù)處理以得到所述被測納米功能材料樣品的微區(qū)熱導率、電疇結構,并實時顯示所述被測納米功能材料樣品的微區(qū)熱導率、電疇結構的成像表征結果。本發(fā)明能夠實現(xiàn)納米功能材料熱導與電疇的原位、實時、集成表征。
聲明:
“基于原子力顯微鏡的納米尺度熱導-電疇原位表征裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)