本發(fā)明涉及一種薄膜材料集成方法,包括提供一基底;形成
石墨烯層于所述基底的上表面;形成至少一
功能材料層于所述石墨烯層的上表面;形成剛性臨時(shí)基底層于所述石墨烯層的上表面,所述剛性臨時(shí)基底層覆蓋所述功能材料層;將由所述剛性臨時(shí)基底層、所述功能材料層組成的疊層結(jié)構(gòu)從所述石墨烯層表面機(jī)械剝離;將所述疊層結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移至目標(biāo)襯底,所述功能材料層與所述目標(biāo)襯底的表面接觸;去除所述剛性臨時(shí)基底層,并使所述功能材料層留在所述目標(biāo)襯底的表面。本發(fā)明通過選用剛性臨時(shí)基底,有利于減小功能材料層在工藝過程中的變形,實(shí)現(xiàn)與目標(biāo)襯底的晶圓級(jí)對(duì)準(zhǔn)集成。
聲明:
“薄膜材料集成方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)