本發(fā)明公開了一種用于金屬有機物化學沉積設備的襯托盤的制作工藝,包括以下步驟:在純度≥98%、平均粒徑0.5μm以下、具有流動性的碳化硅微粉中添加燒結助劑,采用干式混合法形成混合物;采用干壓成型工藝壓制成型以形成坯體;對坯體進行高溫真空燒結;對燒結后的坯體磨削加工以形成襯托盤。本發(fā)明還涉及一種采用上述工藝制作而成的用于金屬有機物化學沉積設備的襯托盤。
聲明:
“用于金屬有機物化學沉積設備的襯托盤及其制作工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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