一種活化渣劑除硼的方法及其裝置,屬于
半導(dǎo)體材料及冶金領(lǐng)域。所述裝置設(shè)有羅茨泵、爐底座、中頻感應(yīng)線圈、保溫層、
石墨坩堝、攪拌器和升降裝置。方法:將原料硅從進(jìn)料口投入石墨坩堝中,啟動羅茨泵抽真空,啟動中頻感應(yīng)電源加熱,待溫度升至1500℃,使硅塊全部熔化;向爐腔內(nèi)充入惰性氣體,使溫度保持在1550~1650℃,加入渣劑,啟動攪拌器,完成第一次造渣;提高中頻感應(yīng)電源功率,使?fàn)t腔內(nèi)溫度達(dá)到1700~1800℃,打開進(jìn)料口,第一次投入渣劑活性成分,抽真空,啟動攪拌器,通入惰性氣體,完成第二次造渣;待造渣完成后,將硅液澆注到承接坩堝中,靜置冷卻,取出硅錠,得到提純后的低硼高純硅,完成活化渣劑除硼。
聲明:
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我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)