本發(fā)明公開了冶金技術(shù)技術(shù)領(lǐng)域一種用高溫氮?dú)獗Ｗo(hù)推板窯生產(chǎn)高純氮化硅粉的工藝方法，將高純硅粉研磨至200目以上，將高純硅粉與粘結(jié)劑混合攪拌后通過(guò)成型機(jī)進(jìn)行成型造粒；將成型的高純硅粒放入坩堝中送入推板窯進(jìn)行連續(xù)生產(chǎn)；高純硅粒先經(jīng)過(guò)預(yù)熱區(qū)預(yù)熱，再緩慢經(jīng)過(guò)進(jìn)入氮化區(qū)，壓縮氮?dú)馔ㄟ^(guò)從降溫區(qū)往預(yù)熱區(qū)逆向進(jìn)入，可以進(jìn)行充分滲氮，最后燒結(jié)后的產(chǎn)品進(jìn)入冷卻區(qū)；研磨成高純氮化硅粉；本發(fā)明用高溫氮?dú)獗Ｗo(hù)推板窯生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品純度高，質(zhì)量穩(wěn)定。因是連續(xù)化生產(chǎn)，人工成本低，單位能耗少，產(chǎn)量大。用氮化硅坩堝盛放，氮化硅球球磨不引入其他雜質(zhì)。