本發(fā)明提供的制備高純氯
硅烷的方法,通過(guò)冶金級(jí)硅與氯化氫反應(yīng)制備得到的氯硅烷,通過(guò)粗精餾將大部分硼磷雜質(zhì)去除,再通過(guò)吸附將剩下的極少量的硼磷雜質(zhì)去除,同時(shí)通過(guò)對(duì)吸附劑的種類(lèi)搭配選用,降低吸附劑的更換頻率,實(shí)現(xiàn)低成本的提純氯硅烷,同時(shí)簡(jiǎn)化操作程序,從而適合工業(yè)化。該方法能高效除去氯硅烷中硼磷雜質(zhì),減少精餾程序,并延長(zhǎng)吸附劑使用壽命長(zhǎng),降低成本,以適合工業(yè)化。
聲明:
“制備高純氯硅烷的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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