一種采用硫化物去除工業(yè)硅中硼磷雜質的方法,涉及工業(yè)硅。將渣料預熔;將預熔后的渣料與工業(yè)硅混合后放入
石墨坩堝,抽真空,當真空度小于500Pa時啟動羅茨泵,使真空在5Pa以下,接著關閉真空閥,通過石墨通氣棒向體系通入Ar氣,使真空度維持在5000~10000Pa;啟動中頻感應電源加熱,待熔化后將石墨通氣棒降至硅液表面上方1~3cm預熱后,通入Ar氣,并將通氣棒插入硅液,通氣攪拌;測量熔液溫度,通過調節(jié)中頻頻率使反應溫度維持在1600~1800℃;造渣后將通氣棒升離坩堝,將熔煉完成的熔液澆注入模具中,凝固,得硅錠,完成采用硫化物去除工業(yè)硅中硼磷雜質的工作??刹僮餍詮?適合于產業(yè)化。
聲明:
“采用硫化物去除工業(yè)硅中硼磷雜質的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)