真空感應(yīng)熔煉去除硅中磷雜質(zhì)的方法，涉及一種硅提純方法。提供一種真空感應(yīng)熔煉去 除硅中磷雜質(zhì)的方法。將多晶硅放入坩堝中，抽真空，預(yù)熱后關(guān)閉粗抽閥，開(kāi)啟擴(kuò)散泵閥門(mén) 抽真空，接通中頻感應(yīng)加熱電源，坩堝開(kāi)始感應(yīng)生熱，對(duì)坩堝內(nèi)的硅原料進(jìn)行低溫預(yù)熱，當(dāng) 溫度上升到600℃時(shí)，硅自身感應(yīng)生熱；增加中頻加熱功率為50～200kW，當(dāng)溫度達(dá)到1415℃ 以上時(shí)，硅開(kāi)始熔化；熔化后，調(diào)節(jié)中頻加熱功率，使硅液溫度控制在1550～1850℃；待溫 度穩(wěn)定后，將真空度控制在1.2×10-2～1.0×10-1Pa；開(kāi)始計(jì)時(shí)，保溫時(shí)間為45～120min；在 水冷銅盤(pán)中通入循環(huán)水，然后將熔煉完成的硅液澆注入模具中，快速凝固，即完成。